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未經標定的壓力傳感器初始誤差有哪些?

2015-05-22

壓力傳感器由于未經標定的系統只能使用典型的靈敏度和偏移值將輸出電壓轉換為壓力,測得的壓力將有誤差,這種未經標定的初始誤差由以下幾個部分組成:
1、偏移量誤差。由于在整個壓力傳感器量程范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
2、靈敏度誤差,產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果壓力傳感器靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
3、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于壓力傳感器硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
4、滯后誤差:在大多數情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為壓力傳感器硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
標定可消除或極大地減小壓力傳感器的這些誤差,而補償技術通常要求確定系統實際傳遞函數的參數,而不是簡單的使用典型值。電位計、可調電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用,而軟件則能更靈活地實現壓力傳感器這種誤差補償工作。

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