熱線測速計敏感元件的基本構造
2012-12-15
為了滿足熱線探針使用上的要求，希望熱線的材料具有：
①材料的電阻溫度系數(shù)高，以得到較高的測量靈敏度；
②材料必須抗腐蝕，以保證有足夠的穩(wěn)定性；
③材料應有較高的機械強度，以防產生振動變形而影響測量精度；
④材科有良好的熱傳導性能．
通常，人們采用能滿足上述要求的鎢絲、鉑絲或鍍鉑鎢絲來制作熱線探針上的熱絲．
典型的熱線直徑為0．5—10 m，長度為1—3mm．這個尺寸主要從兩方面考慮：從提高熱線靈敏度來說，希望熱線直徑越細、長度較長為好，但這樣會使其機械強度和空間分辨率降低；從提高空間分辨率來說，希望熱線越短越好，但可能會影響測量的靈敏度．
為了將熱敏測速技術應用到液體流量的測量，發(fā)展了熱膜探針．它的機械強度較高，所以能適應某些條件較惡劣的流場(如污水流動的流場等)．另外，它受振動的影響較小，電阻值可以由熱膜厚度調節(jié)，故較易與放大器匹配，可得到較高的信噪比．它的缺點是測量頻率范圍較窄，制作工藝復雜，工作溫度較低，這些均限制了它的應用．
熱膜深針由熱膜、襯底、絕緣層和導線幾部分構成．熱膜是用鉑噴濺在襯底上形成，厚度一般為0．1—1um左右．襯底是石英或硼酸玻璃做成的圓柱體．為了使熱膜與流體絕緣并防止被污染，在熱膜外還涂有厚度約1um左右的石英絕緣層．
來源 接地電阻熱像儀 http://www.for815.cn/
①材料的電阻溫度系數(shù)高，以得到較高的測量靈敏度；
②材料必須抗腐蝕，以保證有足夠的穩(wěn)定性；
③材料應有較高的機械強度，以防產生振動變形而影響測量精度；
④材科有良好的熱傳導性能．
通常，人們采用能滿足上述要求的鎢絲、鉑絲或鍍鉑鎢絲來制作熱線探針上的熱絲．
典型的熱線直徑為0．5—10 m，長度為1—3mm．這個尺寸主要從兩方面考慮：從提高熱線靈敏度來說，希望熱線直徑越細、長度較長為好，但這樣會使其機械強度和空間分辨率降低；從提高空間分辨率來說，希望熱線越短越好，但可能會影響測量的靈敏度．
為了將熱敏測速技術應用到液體流量的測量，發(fā)展了熱膜探針．它的機械強度較高，所以能適應某些條件較惡劣的流場(如污水流動的流場等)．另外，它受振動的影響較小，電阻值可以由熱膜厚度調節(jié)，故較易與放大器匹配，可得到較高的信噪比．它的缺點是測量頻率范圍較窄，制作工藝復雜，工作溫度較低，這些均限制了它的應用．
熱膜深針由熱膜、襯底、絕緣層和導線幾部分構成．熱膜是用鉑噴濺在襯底上形成，厚度一般為0．1—1um左右．襯底是石英或硼酸玻璃做成的圓柱體．為了使熱膜與流體絕緣并防止被污染，在熱膜外還涂有厚度約1um左右的石英絕緣層．
來源 接地電阻熱像儀 http://www.for815.cn/
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