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湖南省長(zhǎng)沙市車站北路湘域智慧南塔6樓

安徽省合肥市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科學(xué)大道110號(hào)新材料園F9A號(hào)樓511室

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Keithley吉時(shí)利 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS

名稱:其他儀器與工具

品牌:

型號(hào):

簡(jiǎn)介:使用吉時(shí)利4200A-SCS參數(shù)分析儀(參數(shù)測(cè)試儀) 加快各類材料、半導(dǎo)體器件和先進(jìn)工藝的開發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能領(lǐng)先電學(xué)特性半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測(cè)試(IV曲線測(cè)試)、電容電...

  • 產(chǎn)品介紹
使用吉時(shí)利4200A-SCS參數(shù)分析儀(參數(shù)測(cè)試儀) 加快各類材料、半導(dǎo)體器件和先進(jìn)工藝的開發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能領(lǐng)先電學(xué)特性半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測(cè)試(IV曲線測(cè)試)、電容電壓曲線測(cè)試(CV曲線測(cè)試)和超快脈沖IV曲線測(cè)量。


直流電流-電壓(I-V) 范圍

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
 

電容-電壓(C-V) 范圍

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
 

脈沖 I-V范圍

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采樣率

 

Keithley吉時(shí)利 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS主要性能指標(biāo)

I-V 源測(cè)量單元(SMU)

  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
  • 100 fA測(cè)量分辨率
  • 選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
  • 100 μF負(fù)載電容
  • 四象限操作
  • 2 線或 4 線連接


C-V 多頻率電容單元(CVU)

  • AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
  • ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
  • 選配 CVIV 多通道開關(guān),在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
  • 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道
  • 200 MSa/s,5 ns 采樣率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬態(tài)波形捕獲模式
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率


高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

  • 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式,支持多電平脈沖波形,10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
  • 在 I-V測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換,無(wú)需重新布線或抬起探針
  • 把 C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子,無(wú)需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
  • 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換
  • 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
  • 降低電纜電容效應(yīng)




 

參數(shù)查看,快速清晰。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀從設(shè)置到運(yùn)行檢定測(cè)試的時(shí)間減少高達(dá) 50%,從而實(shí)現(xiàn)無(wú)與倫比的測(cè)量和分析能力。此外,嵌入式測(cè)量專業(yè)知識(shí)提供無(wú)與倫比的測(cè)試指導(dǎo),并讓您對(duì)最終結(jié)果充滿信息。

特點(diǎn)

  • 用于 DC IV、CV 和脈沖 IV 測(cè)量類型的高級(jí)測(cè)量硬件
  • 立即使用 Clarius 軟件中所含的數(shù)百種用戶可修改應(yīng)用程序測(cè)試開始測(cè)試
  • 自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取、數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

準(zhǔn)確的 C-V 表征

使用吉時(shí)利最新的電容-電壓?jiǎn)卧?(CVU) 4215-CVU 測(cè)量一位數(shù)飛法。通過(guò)將 1 V AC 電源集成到吉時(shí)利行業(yè)領(lǐng)先的 CVU 架構(gòu)中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的頻率下進(jìn)行低噪聲電容測(cè)量。

特點(diǎn)

  • 同類產(chǎn)品中首款能夠驅(qū)動(dòng)1 V AC 電源電壓的 CV 表
  • 1 kHz 頻率,分辨率從1 kHz 到 10 MHz
  • 測(cè)量電容、電導(dǎo)和導(dǎo)納
  • 使用 4200A-CVIV 多路開關(guān)最多可測(cè)量四個(gè)通道

 

測(cè)量、 切換、 重復(fù)。

4200A-CVIV 多通道切換模塊自動(dòng)在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間切換,無(wú)需重新布線或抬起探頭端部。 與競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品不同,四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看,可快速完成測(cè)試設(shè)置,并在出現(xiàn)意想不到的結(jié)果時(shí)輕松排除故障。

特點(diǎn)

  • 無(wú)需重新布線即可將 C-V 測(cè)量移動(dòng)到任何設(shè)備終端
  • 用戶可配置低電流功能
  • 個(gè)性化輸出通道名稱
  • 查看實(shí)時(shí)測(cè)試狀態(tài)

穩(wěn)定的低電流測(cè)量,適用于 I-V 檢定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模塊,您可以在高電容系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的低電流測(cè)量。4200A-SCS 有四種型號(hào)的源測(cè)量單位 (SMU) 可供選擇,可通過(guò)定制滿足您所有的 I-V 測(cè)量需求。通過(guò)提供現(xiàn)場(chǎng)可安裝單元和可選的預(yù)放大器模塊,Keithley 可確保您獲得最準(zhǔn)確的低電流測(cè)量,而停機(jī)時(shí)間很少甚至沒(méi)有。

特點(diǎn)

  • 不必將儀器送回工廠即可增加 SMU
  • 進(jìn)行 飛安測(cè)量
  • 多達(dá) 9 個(gè) SMU 通道
  • 針對(duì)長(zhǎng)電纜或大卡盤進(jìn)行了優(yōu)化

帶分析探測(cè)器和低溫控制器的集成解決方案

4200A-SCS 參數(shù)分析儀支持許多手動(dòng)和半自動(dòng)晶片探測(cè)器和低溫控制器,包括 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。

特點(diǎn)

  • “點(diǎn)擊”測(cè)試定序
  • “手動(dòng)”探測(cè)器模式測(cè)試探測(cè)器功能
  • 假探測(cè)器模式無(wú)需移除命令即可實(shí)現(xiàn)調(diào)試


 

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