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牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積

名稱:其他儀器與工具

品牌:

型號:

簡介:牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積能夠生產具有高質量,致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法,并可在同一設備上實現, 因而提高系統的利用率。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式...

  • 產品介紹

牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積能夠生產具有高質量,致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法,并可在同一設備上實現, 因而提高系統的利用率。我們的設備具有靈活的硬件選項,包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統規格與實際應用緊密協調,以確保獲得速率更快且重復性更好的工藝結果。

  • 多模式功能

  • 能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設備相集成

  • 單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作

  • 雙束流配置

  • 更低的表面薄膜粗糙度

  • 更佳的批次均勻性和工藝重復性

  • 準確終點監測 —— SIMS,發射光譜


牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積特點

  • 質量薄膜高 ——超低污染
  • 產量高,緊湊的系統體積設計­——運行成本低
  • 已獲得專利的高速襯底架(高達1000RPM)設計,并配備了白光光學監視器(WLOM)——更為精確的實時光學薄膜控制
  • 配置靈活 ——適于先進的研究應用
  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式


牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積特點應用

  • 磁阻式隨機存取存儲器(MRAM)
  • 介電薄膜
  • III-V族光電子材料刻蝕
  • 自旋電子學
  • 金屬電極和軌道
  • 超導體
  • 激光端面鍍膜
  • 高反射(HR)膜
  • 防反射(AR)膜
  • 環形激光陀螺反射鏡
  • X射線光學系統
  • 紅外(IR)傳感器
  • II-VI族材料
  • 通信濾波器

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