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捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發射掃描電子顯微鏡

名稱:其他儀器與工具

品牌:

型號:

簡介:捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發射掃描電子顯微鏡的光學系統經過改進,實現了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power ...

  • 產品介紹
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發射掃描電子顯微鏡的光學系統經過改進,實現了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統,能提供穩定的高空間分辨率觀察和分析。
此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴展性。
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發射掃描電子顯微鏡主要特點如下:
1.半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場,因而可以獲得超高分辨率。
2.High Power Optics 是獨特的電子光學系統,既實現了高倍率觀察又能進行多種分析。浸沒式肖特基場發射電子槍,可以獲得10 倍于傳統肖特基場發射電子槍(FEG)的探針電流,最佳光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統,從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
捷歐路JEOL JSM-7610FPlus 熱場發射掃描電子顯微鏡圖片
二次電子像分辨率 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV )
分析時 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )
倍率 Direct magnification:  x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)
Display magnification:  x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels)
加速電壓 0.1 ~ 30 kV
探針電流 數 pA ~ 200 nA
電子槍 浸沒式肖特基場發射電子槍
透鏡系統 聚光鏡(CL)、  最佳光闌角控制鏡(ACL)、  半浸沒式物鏡(OL)
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動
電子檢測器系列 高位檢測器、 r‐過濾器 內置、  低位檢測器
自動功能 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節
圖像觀察用
液晶顯示器
屏幕尺寸 23英寸寬屏
 最大分辨率 1,920 × 1,080像素
抽真空系統 電子槍室/中間室 SIP 離子泵
樣品室 TMP 分子泵


 

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