捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡
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簡介：捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡采用新開發的超高分辨率GBSH模式，達到了世界最高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將最大探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優化組合，實...
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捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡采用新開發的超高分辨率GBSH模式，達到了世界最高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將最大探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優化組合，實現了更高的亮度，能有效采集電子槍中發射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得幾pA～數10 nA 探針電流，保持最小的物鏡光闌就可以進行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數量會改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。
| 分辨率 |
0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) |
| 倍率 | × 25 ～ × 1,000,000 |
| 加速電壓 | 0.01kV ～ 30kV |
| 束流 | 數pA～500nA |
| 自動光闌角最佳控制透鏡 | 內置 |
| 檢測器 |
高位檢測器(UED) 低位檢測器(LED) |
| 能量過濾器 | UED過濾器電壓可變功能內置 |
| Gentle Beam模式 | 內置 |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 |
| 樣品移動范圍 | X:70mm, Y:50mm Z: 2mm to 25mm 傾斜－5 ～ ＋70° 旋轉360° |
應用實例
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡標配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像，到達樣品時的能量為1keV，左圖中樣品偏壓為-2kV，右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察，HOPG的微細結構更加清晰，達到的分辨率更高。
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