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KLA-TENCOR Alpha-Step IQ臺(tái)階儀出租

產(chǎn)品簡介:

儀器中文名稱: 臺(tái)階儀 儀器型號(hào)規(guī)格: Alpha-Step IQ 生產(chǎn)廠商: KLA-TENCOR Corporation 國別: 美國 購置日期(年): 2005-5-1 使用日期(年): 2005-11-1 主要技術(shù)指標(biāo): 掃描長度:10mm (2)掃描速度:2m/s~200m/s (3)臺(tái)階高度可重復(fù)性: 0.8nm的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差或0.1%...

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儀器中文名稱: 臺(tái)階儀
儀器型號(hào)規(guī)格: Alpha-Step IQ
生產(chǎn)廠商: KLA-TENCOR Corporation 
國別: 美國
購置日期(年): 2005-5-1
使用日期(年): 2005-11-1
主要技術(shù)指標(biāo): 掃描長度:10mm (2)掃描速度:2μm/s~200μm/s (3)臺(tái)階高度可重復(fù)性: 0.8nm的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差或0.1%的測(cè)量垂直范圍(對(duì)20μm范圍); 0.4μm的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差或0.2%的測(cè)量垂直范圍(對(duì)400μm范圍)。 (4) 可測(cè)樣品最大尺寸:Φ158mm (5) 可測(cè)樣品最大厚度:21mm 可測(cè)樣品最大重量:1kg 
主要附件及功能: 
本單位該儀器主要應(yīng)用領(lǐng)域:材料, 機(jī)械工程
檢測(cè)項(xiàng)目: 可測(cè)量各種材料(如磁盤、半導(dǎo)體晶片、精密加工和拋光面、微電子陶瓷、平面顯示器玻璃、光學(xué)平面等)表面的臺(tái)階高度。 臺(tái)階必須事先做好。臺(tái)階作的越陡峭越好,最好是用光刻的方法作出,否則測(cè)試的準(zhǔn)確性會(huì)大大變差。樣品要求:平面尺寸 Φ10mm ~ Φ158mm;厚度 <20mm;臺(tái)階高度 <0.4mm。校內(nèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn) 
收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn): 520元/小時(shí) 

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